ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵 HR60

2025/07/02 15:29:52

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內不使用油或液體的機械真空泵。

在 FPD、電子和半導體行業(yè)等領域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵 HR60

通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質以

氣態(tài)排出。

長處

可以在氣態(tài)下排放高溫區(qū)域熱均衡

CVD 和蝕刻產(chǎn)生的升華廢氣排放物。

“Model：UR” 甚至可以高于 “Model：HR”。

由于安裝了氦氣密封

屏蔽電機，因此具有密封結構，因此非常安全。

瞬時停止：在 1000 毫秒內實施瞬時停止

措施。

優(yōu)異的耐腐蝕性主要

部件采用特殊的表面處理，以高表面硬度和優(yōu)異的耐腐蝕性為標準。減少排空腐蝕性氣體時泵內部的腐蝕。

通信功能：

可以讀取泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄數(shù)據(jù)。通過使用軟件和計算機通信，可以進行集中監(jiān)控。

用

CVD 設備

蝕刻設備

灰化裝置

ALD、ALH 等

型			HR60	HR90	HR300 型	HR600 型	HR1200 型
使用的泵		DRP	HR60	HR90	HR60	HR90	HR90
		MPB	-	-	PRC-003A 系列	PRC-006A 系列	PRC-012A 系列
* 抽速	50 赫茲	m3/h （升/分鐘）	62(1030)	112(1860)	359(5,980)	653(10,900)	1,012(16,900)
	60 赫茲	m3/h （升/分鐘）	80(1333)	126(2100)	365(6,080)	701(11,700)	1,051(17,500)
極限壓力		帕	5		0.67?????
*入口壓力（入口壓力）			大氣壓力 *1
*排氣口壓力（排氣壓力）		帕	1~大氣壓
進氣口（CE 規(guī)格）			VG50（KF50）系列	VG80型（KF50）	VG80（KF80）系列		VG100型（KF100）
排氣口			肯氟烴40
質量		公斤	180	245	275	370	420
電力	三個階段	交流電（Hz）	200(50/60), 220(60)
當前值	穩(wěn)態(tài)	一個	7.1 （200V 時）	11.2 （200V 時）	7.8 （200V 時）	12.9 （200V 時）	15.4 （200V 時）
	*值	一個	7.3 （200V 時）	11.8 （200V 時）	8.1 （200V 時）	13.8 （200V 時）	18.9 （200V 時）
冷卻水臨時壓力		兆帕	0.1~0.3
冷卻水入口/出口壓差		兆帕	>0.1
冷卻水流量		升/分鐘	>5.0
吹掃氣體	一次壓力	兆帕	0.1~0.5
	二次壓力	兆帕	0.05~0.1
N2?吹掃	軸	SLM 系列	5
	加斯伯勒	SLM 系列	0~45

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統(tǒng)、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術支持。
2. 核心技術及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。

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ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 HR60

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