ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵 CR16B

2025/07/02 15:20:35

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機械真空泵。

在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵 CR16B

干式真空泵“型號：CR VerB”是一款已獲得國際標(biāo)準(zhǔn)（CE、cTUVus）的風(fēng)冷羅茨型干式真空泵。

排氣室不使用油，轉(zhuǎn)子和氣缸以非接觸方式運行，可以長時間穩(wěn)定運行。

長處

排氣室是非接觸式的，不使用油，因此可以長時間穩(wěn)定排氣。

由于不需要冷卻水和氮氣，因此有助于降低運行成本。

配備直流屏蔽電機，節(jié)能、密閉、輕量化。

氣鎮(zhèn)機構(gòu)可實現(xiàn)蒸汽排放。

標(biāo)準(zhǔn)：CE、cTUVus

用

真空排氣清潔氣體，如空氣和惰性氣體

真空干燥等水蒸氣排放（必須使用氣鎮(zhèn)）

用于濺射、氣相沉積等的真空設(shè)備。

型		CR16B 系列	CR30B 型	CR60B-S 系列	CR60B-T 型	CR300B 系列
*抽速	m3/小時	16	30	55		300
	升/分鐘	280	500	920		5000
極限壓力 *1	帕	≦3.0				≦0.5
*入口壓力		氣壓
*排氣口壓力		氣壓
電源電壓 *2		單相：100 V、200 V 三相：200 V		單相：200V	三相：200V	三相：200V
電機額定值	千瓦	0.72		1.5		3.0
進氣口		KF25 系列		肯氟烴40		KF50 系列
排氣口		KF25 系列		肯氟烴40
質(zhì)量	公斤	35		48		100
法規(guī)遵從性		CE、cTUVus
冷卻方式		風(fēng)冷
氣鎮(zhèn)機構(gòu) *3		存在
蒸汽處理量 4	克/小時	<300		<500
標(biāo)準(zhǔn)配件		電源連接器、信號連接器、使用說明書、空氣過濾器、防護裝置

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。

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ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 CR16B

ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵 CR16B