ULVAC愛發(fā)科 機械增壓泵 PMB1200D
ULVAC愛發(fā)科 機械增壓泵 PMB1200D
機械增壓泵是一種可顯著提高抽速的泵。
通過與油旋轉真空泵或干泵等粗抽泵組合使用，在粗抽泵抽速下降的壓力范圍內，可以顯著提高粗抽泵的抽速。
應用于半導體工藝、真空蒸餾、真空封裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風洞測試、太空探測、真空浸漬、真空干燥等眾多領域。
通用型機械式增壓泵
“型號：PMB Ver.D”是通用型機械式增壓泵。
可選擇可選的表面處理和常壓驅動類型，也可以進行風冷運行。
長處
配備用于空氣冷卻的變頻器，可在整個壓力范圍內進行風冷作。
由于它與可從多電壓電機（200V 級、多電壓）中選擇的通用電機兼容，
因此也可以安裝防爆電機（可選）。
表面處理具有優(yōu)異的耐腐蝕性（選項：T 型）
主要部件經(jīng)過陽極氧化處理，表面硬度高，耐腐蝕性優(yōu)異。 減少泵內部的劃痕和腐蝕。
由于可以同時使用常壓驅動型（選項：變頻器）
粗抽泵同時啟動，可有效縮短排氣時間，因此與標準型相比，可以縮短排氣時間。
除了針對特殊應用的標準可選支持
外，還提供用于特殊應用的型號。
用
氣相沉積、濺射、離子鍍
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
分析儀器， 泄漏測試設備
氣體置換、填充、真空絕熱
熱處理爐、熔煉爐
其他真空設備
| 型號 *1 |
|
PMB100D | PMB300D | PMB600D | PMB1200D | PMB2400D | |||
| *抽速 | 50 赫茲 |
m3/h （升/分鐘） |
95 （1,580） |
280 （4,670） |
500 （8,330） |
1,000 （16,667） |
2,000 （33330） |
2,500 （41,667） |
|
| 60 赫茲 |
115 （1,920） |
330 （5,500） |
600 （10,000） |
1200 （20,000） |
2,400 （40,000） |
3,100 （51,667） |
|||
| *吸入壓力 | 50 赫茲 | 帕 | 9.3×103 | 1,2×103 | 1.3×103 | 2.0×103/8.0×102 | |||
| 60 赫茲 | 6.2×103 | 9.3×102 | 1,1×103 | 1.5×103/6.7×102 | |||||
| *允許壓差 | 50 赫茲 | 帕 | 8.0×10 元3 | 4.0×103 | 7.3×103 | 3.5×103/4.7×103 | |||
| 60 赫茲 | 5,6×103 | 3.3×103 | 6.0×103 | 3.0×103/4.7×103 | |||||
| 極限壓力 *2 | 帕 | 4.0×10-1 | 6,7×10-1 | ||||||
| 可驅動壓力 | 帕 | ~1.0×105 （常壓驅動） | |||||||
|
電機 *3 |
電機功率 （位數(shù)） |
kW （位數(shù)） |
0.4(2) | 0.75(2) | 2.2(2) | 3.7(2) | 7.5(2) | ||
|
200V 級 電機 |
50 赫茲 | V | 200 | ー | |||||
| 60 赫茲 | 200/220 | ー | |||||||
|
多電壓 電機 |
50 赫茲 | V | 220~240/380~415°C | 200~240/380~415°C | |||||
| 60 赫茲 | 208~240/380~460°C | 200~240/380~460°C | |||||||
| 使用油 *4 | ULVOIL R-42 | ||||||||
| 所需油量 | L | 0.35 | 0.7 | 1.5 | 1.9 | 4 | |||
| 冷卻系統(tǒng) *5 | 風冷 | 風冷/水冷 | |||||||
| 冷卻水 | 入口壓力 | Mpa | ー | 0.3 | |||||
| 入口壓差 | Mpa | ー | 0.05 | ||||||
| 冷卻水量 | 升/分鐘 | ー | 2 | 3 | |||||
| 冷卻水溫度 *6 | °C | ー | 5~30 | ||||||
| 進氣口 JIS-B-2290 | VG50 等效值 | VG80 等效值 | VG100 等效值 | VG200 等效值 | |||||
| 排氣孔 JIS-B-2290 | 相當于 VF50 | 相當于 VF80 | 相當于 VF200 | ||||||
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