MIYUKI美幸輝 真空閥 ABR-J25

MIYUKI美幸輝 真空閥 ABR-J25

L 型閥

AB/AE/ABR/AER 系列

軸封方式（波紋管密封、O 形圈密封）可根據使用目的選擇。

16A~50A 可用于單作用和雙作用。

所有尺寸均與反壓兼容。

真空閥（Vacuum Valve）是專門用于真空系統(tǒng)中控制氣體流動、調節(jié)壓力或隔離真空環(huán)境的閥門。由于真空系統(tǒng)對密封性、材料放氣率和耐壓差有嚴格要求，真空閥的設計與普通閥門有顯著區(qū)別。

真空閥的優(yōu)點

高密封性

采用金屬密封或氟橡膠（FKM）等特殊材料，確保閥門在高真空（≤10?? Pa）環(huán)境下仍能保持極低泄漏率。

部分高精度真空閥采用波紋管密封，避免閥桿處泄漏。

低放氣率

閥體和密封材料經過特殊處理（如電拋光、鍍鎳或烘烤除氣），減少材料在真空環(huán)境下的氣體釋放。

耐壓差能力強

可承受從大氣壓（10? Pa）到高真空（10?? Pa）的巨大壓差，確保閥門在開關過程中不發(fā)生變形或泄漏。

真空閥的應用領域

半導體與微電子制造

用于晶圓加工、刻蝕、CVD（化學氣相沉積）和PVD（物理氣相沉積）設備，控制工藝腔體的真空度。

真空鍍膜與光學涂層

在磁控濺射、電子束蒸發(fā)等鍍膜設備中，真空閥用于隔離不同腔室，確保鍍膜均勻性。

科研與實驗室設備

粒子加速器、同步輻射裝置、質譜儀等高真空系統(tǒng)依賴高精度真空閥維持穩(wěn)定運行。

航天與空間模擬

用于衛(wèi)星、航天器地面測試，模擬太空真空環(huán)境，確保設備在極端條件下的可靠性。