MIYUKI美幸輝 真空閥 AEH-N16
MIYUKI美幸輝 真空閥 AEH-N16
L 型閥
AEH 系列
閥體可以在任何位置停止,以實(shí)現(xiàn)緩慢排氣。
真空閥(Vacuum Valve)是專門用于真空系統(tǒng)中控制氣體流動(dòng)、調(diào)節(jié)壓力或隔離真空環(huán)境的閥門。由于真空系統(tǒng)對(duì)密封性、材料放氣率和耐壓差有嚴(yán)格要求,真空閥的設(shè)計(jì)與普通閥門有顯著區(qū)別。
真空閥根據(jù)工作原理可分為:
截止型真空閥(如真空擋板閥、真空蝶閥)——用于切斷或接通氣流。
調(diào)節(jié)型真空閥(如真空微調(diào)閥、針閥)——用于控制氣體流量和壓力。
放氣閥(如真空破空閥)——用于向真空腔體引入大氣,平衡壓力。
真空閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、航天模擬、粒子加速器、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域,是真空系統(tǒng)不可或缺的關(guān)鍵組件。
真空閥的優(yōu)點(diǎn)
高密封性
采用金屬密封或氟橡膠(FKM)等特殊材料,確保閥門在高真空(≤10?? Pa)環(huán)境下仍能保持極低泄漏率。
部分高精度真空閥采用波紋管密封,避免閥桿處泄漏。
低放氣率
閥體和密封材料經(jīng)過(guò)特殊處理(如電拋光、鍍鎳或烘烤除氣),減少材料在真空環(huán)境下的氣體釋放。
耐壓差能力強(qiáng)
可承受從大氣壓(10? Pa)到高真空(10?? Pa)的巨大壓差,確保閥門在開(kāi)關(guān)過(guò)程中不發(fā)生變形或泄漏。
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MIYUKI美幸輝 真空閥 AEH-N16
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